Etch berendezések rádiófrekvenciás rendszere

Az RF rendszer általában RF generátorból és RF match-ből áll, a maratóberendezések egyik alapvető rendszere, a jelenlegi piacot ezen a területen főként az Egyesült Államok Youyi Semiconductor (AE), Wanji Instrument (MKS) és a Comed Ed. Az RF tápegység olyan tápegység, amely rögzített frekvenciájú szinuszos feszültséget képes generálni, és nagy teljesítményű. Miután a maratógáz (főleg CF4) a gázrendszeren keresztül a reakciókamrába kerül, a rádiófrekvenciás tápegység által generált nagyfrekvenciás (általában 13,56 MHz-es) elektromos térrel ionizálódik, ami izzító kisülést eredményez, amely befejezi a gázmolekulákból ionokká alakul át, plazmát képez, és javítja a gáz reaktivitását. Az RF tápellátás közvetlenül összefügg a plazmakoncentrációval, egyenletességgel és stabilitással a reakciókamrában. A legtöbb maratóeszközben az RF tápegységet az egyenáramú tápegységgel együtt használják az ionok sűrűségének és energiájának szabályozására. Az elektromos tér gyorsító hatása miatt az ionok jellemzően mind fizikai, mind kémiai formában maratják az ostyákat. Ezenkívül a rádiófrekvenciás rendszerek fontos részét képezik a vékonyréteg-leválasztó berendezéseknek, a gyantamentesítő gépeknek, az ionimplantátoroknak és a tisztítóberendezéseknek.

A maratóberendezések rádiófrekvenciás rendszerkonfigurációinak gyakori kombinációja a fix frekvenciájú RF tápegység és az állítható illesztő. A maratási folyamat során a matcher önállóan beállítja a belső állítható kondenzátort, hogy megfeleljen magának a tápegység kimeneti impedanciájának és a reakcióterhelési impedanciának, hogy elérje az RF tápegység teljes teljesítményét. Ideális illesztési állapotban minden RF jel továbbítható a terhelési pozícióba, és energiájuk visszavert teljesítménye csökken. Ha a terhelési impedancia és a rádiós tápegység kimenetének impedanciája nincs egyező állapotban, a bemeneti jel egy kis része a terhelés végén visszaverődik az RF forrásra, és az RF teljesítmény kimeneti teljesítménye a készlet nincs teljesen kihasználva, ami csökkenti a maratási reakció hatékonyságát.