Maratási berendezések gázrendszere

A maratási lépéshez különféle maratógázok használata szükséges, amelyek a reakcióeljárásban folyamatközegként is ismertek. A marató berendezés gázrendszere felelős a folyamatközegnek a gázforrásból a reakciókamra belsejébe történő szállításáért, amely főként gázdobozból (Gasbox), homogenizáló lemezből (Gaspanel), áramlásmérőből áll. (MFC) és egy csővezeték.

A gázdoboz feladata, hogy a gázforrásból (speciális gázpalack vagy az ostyafa gázvezetéke) különböző szabályozószelepeken keresztül beállítsa a gáznemű folyamatközeg nyomását, majd bejusson a gázvezetékbe. a marató berendezés. Mivel az integrált áramkörök gyártása során felhasznált gázok többsége veszélyes, a biztonság érdekében a gázkör dobozának szekrényét általában korróziógátló bevonattal látják el, és külső megfigyelő ablakot alakítanak ki, illetve belülről is. negatív nyomású állapotban. Ezenkívül a gázdoboz számos felügyeleti rendszerrel van felszerelve, amelyek azonnal megszakítják a gázszállítást és riasztást adnak, ha gázszivárgást észlelnek. A Gaspanel a gázrendszer egyik alapeleme, és egyben nehezen feldolgozható félvezető fém alkatrész. A homogenizáló tárcsa általában négy réteg fémkorongból áll, amelyek mindegyikén sok kis lyuk és összetett és kis légút található. A maratógáz gázút-doboz általi beállítását követően belép a csővezetékbe, majd áthalad a homogenizáló tálcán, végül stabil és egyenletes sebességgel a reakciókamrába kerül. A homogenizáló tárcsának rendelkeznie kell a magas hőmérséklet-állóság, az alacsony részecskeszennyezés és a korrózióállóság jellemzőivel, és speciális módszereket kell alkalmazni a többrétegű fémtárcsák közötti hegesztéshez a belső szivárgás megakadályozása érdekében. Mivel a homogenizáló korong a maratás maglevegő-beszívó lépéséhez kapcsolódik, egyes berendezéseket gyártó vállalatok úgy döntenek, hogy együttműködnek a precíziós fémfeldolgozó vállalatokkal a homogenizáló korongok fejlesztése és gyártása érdekében; Emellett a japán Fujikin szelepek is fontos egységes lemezgyártók.

A maratóberendezés tömegáram-mérőt (MFC) használ a maratógázok reakciókamrába jutásának sebességének figyelésére és szabályozására. Mivel a levegő beszívási sebessége a maratási reakció stabilitásához kapcsolódik, a maratóberendezés magas követelményeket támaszt a tömegáram-mérő áramlási tartományával, szabályozási pontosságával és áramlási stabilitásának válaszidejével szemben. Az áramlásmérők analóg áramkörtípusra, digitális áramkörtípusra és nyomásváltozás kompenzációs típusra oszthatók. A nyomásváltozás-kompenzáló áramlásmérő automatikusan kompenzálja a gázforrás nyomásának ingadozását, hogy biztosítsa a gázkimenet stabil áramlását a reakciókamrába. A tömegárammérők fő gyártója a japán Horiba.