Mi a poliszilícium redukciós kemence reakcióporlasztása?

Mi az aRakcióAtomizálásaPolyszilíciumRkiválasztásFurna

A poliszilícium redukciós kemence a poliszilícium előállításának fő berendezése, és a poliszilícium redukciós kemence reakcióporlasztása a klórszilán hőrekesztési reakciójára utal a redukciós kemencében a magas hőmérséklet hatására, ami finom szilícium-port eredményez. a kemencében a gázfázisú térben párát képez, vagyis az úgynevezett porlasztási jelenséget. Ha nem ellenőrizzük, ez a porlasztás szabálytalan részecskéket vagy belső közbenső rétegeket eredményezhet a poliszilícium rudak felületén, ami befolyásolja a termék minőségét.

A porlasztási jelenség fellépése után általában paraméterváltozások következnek be:

· A redukciós kipufogógáz hőmérséklete gyorsan emelkedik;

· A redukciós feszültség gyorsan csökken;

· A redukciós reakció ereje is gyorsan csökken

· A kemencevíz visszatérő víz hőmérséklete emelkedik.

A poliszilícium redukciós kemencében történő porlasztásnak számos oka lehet, többek között, de nem kizárólagosan, a poliszilícium rúd magas felületi hőmérséklete a redukciós kemencében, a nyersanyagok elégtelen hidrogénáramlása, a nyersanyagok elégtelen teljes áramlása vagy a nem megfelelő szilícium-diklorid-tartalom. A porlasztás szabályozására szolgáló intézkedések közé tartozik a rúd felületi hőmérsékletének csökkentése, a hidrogénáram növelése, a teljes nyersanyagáram növelése vagy a diklór-dihidrogén-szilán tartalom szabályozása.

Az anyag teljes áramlási sebessége nem elegendő, vagy a diklór-dihidrogén-szilícium tartalma nem megfelelő. A porlasztás szabályozására megtehető intézkedések közé tartozik a rúd felületi hőmérsékletének csökkentése, a hidrogénáram növelése, a teljes nyersanyagáram növelése vagy a diklór-dihidrogén-szilán tartalmának szabályozása.

Emellett a redukáló kemence optimális szabályozásával kapcsolatos kutatások elmélyülésével kiderült, hogy a redukáló kemence különböző porlasztási állapotok esetén csökkentheti az energiafogyasztást. Bizonyos fokú porlasztás elérése érdekében a határkártya széle működését, amely nem csak csökkenti az energiafogyasztást, hanem biztosítja a termék minőségét. A porlasztási fok hatékony kimutatási módszereinek hiánya miatt azonban a meglévő szabályozási stratégiákkal nehéz kielégítő eredményt elérni.

Ennek a problémának a megoldására javasoltak egy rendszert és módszert a poliszilícium redukciós reakció porlasztási fokának kimutatására, amely magában foglal egy kipufogógáz-érzékelő eszközt és egy központi vezérlőt. A kipufogógáz szilícium-dioxid füsttartalmának változásának érzékelésével a rendszer valós időben digitálisan figyeli a kemencében a porlasztás mértékét, és a kezelő az észlelési eredményeknek megfelelően időben módosíthatja a redukáló kemence paramétereit az optimális szabályozás elérése érdekében. .

Ezen túlmenően egy olyan módszert javasolnak a porlasztás kimutatására poliszilícium redukciós kemencében, amely méri a porkoncentráció értékét egy porérzékelő felszerelésével a kipufogógáz-kivezető csővezetékre, és kiszámítja a tartományt és a szórást, hogy megítélje a porlasztás mértékét a kemencében, így hogy irányítsa a kezelőt a beállítások elvégzéséhez. Ezeknek a technológiáknak az alkalmazása elősegíti a redukciós kemence szabályozási minőségének javítását, a működési nehézségek csökkentését és a poliszilícium termékek minőségének biztosítását.