A rézkarc típusai a chipgyártási folyamatban

TípusaiEviszketés aCcsípőMgyártásProcess

Ez a cikk röviden bemutat két maratási módszert a chipgyártási folyamatban, a maratás (Etch) egy meglehetősen fontos lépés a chipgyártási folyamatban.

A maratást elsősorban száraz és nedves maratásra osztják.

①Száraz maratás

A plazmát a nem kívánt anyagok eltávolítására használják.

②Nedves maratás

A nem kívánt anyagok eltávolítására korrozív folyadékokat használnak.

1 Száraz maratás

Száraz maratási módszer:

① Porlasztás és ionsugaras marás

②Plazmamarás

③ Nagynyomású plazmamarás

④Nagy sűrűségű plazma (HDP) maratás

⑤Reaktív ionmaratással (RIE)

A kémiai maratáshoz hasonlóan ez is nagyon szelektív, csak a kívánt összetételű anyagokat maratja; Erősen anizotróp, és a maszk nyílásától kezdve egyetlen irányban maratott. Az ezt elérő mechanizmus a nagyenergiájú részecskék felhasználásán alapul a vegyi anyagok felületekkel való reakciójának aktiválására. Amint az ábrán látható, a plazmában ionok keletkeznek, amelyek felgyorsulnak a felület és a maszknyílások felé. A plazma rendkívül reaktív semleges anyagokat is termel, amelyeket az elektromos tér nem gyorsít, és ezért nem előnyös irányban érik el a felszínt. Ha ionok és semlegesek egyaránt jelen vannak, azaz a felület vízszintes részén (pl. egy maratott gödör alján), akkor egy erősen szelektív reakció aktiválódik, és a célanyag eltávolítható.

Az alábbiakhoz hasonló marató béléseink vannak:

0040-79913 Katódbetét, W/szivárgásellenőrző port, 300 mm

0040-79912 Béléskamra szivárgásellenőrző portja, 300 mm-es Emax

0040-34866 Liner Cathode Mag gyűrű

2 Nedves maratás

A nedves maratás széles körben alkalmazható a félvezető eljárásokban: polírozás, tisztítás, korrózió. A nedves maratás egy kémiai folyamat, amelynek során szelektíven eltávolítják az anyagot az ostyáról folyékony maratószerrel. Ezek a maratószerek jellemzően különféle vegyi anyagokból, például savakból, bázisokból vagy oldószerekből állnak, amelyek reakcióba lépnek az anyaggal, és könnyen lemosható, oldható termékeket képeznek. A maratási folyamatot egy kémiai reakció hajtja végre az anyag-marató határfelületen, a maratási sebességet pedig a reakciókinetika és az oldatban lévő aktív anyagok koncentrációja határozza meg.

Az előnyök a következők: jó szelektivitás, jó ismételhetőség, magas gyártási hatékonyság, egyszerű berendezés és alacsony költség

A hátrányok a következők: nem használható kis méretekhez; Nagy mennyiségű vegyi hulladék keletkezik majd.