Problémák a maratási folyamatban

0040-02544 Felsőtest, Dps fém

0020-33806 Felső kamra Dps + Poly

 

 

Problémák aEviszketésProcess

Ez a cikk a maratási folyamat problémáit írja le.

A maratás a félvezető gyártási folyamat egyik kulcsfontosságú lépése, és egy adott anyag eltávolítására szolgál az ostyáról, hogy áramköri mintát alakítsanak ki. A száraz maratás során azonban a mérnökök gyakran találkoznak olyan problémákkal, mint a terhelés, a mikro-árokhúzás és a töltési hatások, amelyek közvetlenül befolyásolhatják a végtermék minőségét és teljesítményét.

 

Loading Effect

A terhelési hatás azt a jelenséget jelenti, hogy a száraz maratási folyamat során a reaktív plazma elégtelen utánpótlása miatt a maratási sebesség csökken, vagy a maratás egyenetlen, amikor a maratási terület növekszik vagy a maratási mélység nő. Ez a hatás általában a maratási rendszer jellemzőihez kapcsolódik, mint például a plazma sűrűsége és egyenletessége, vákuum stb., és széles körben jelen van a különböző reaktív ionos maratások során.

A plazma sűrűségének és egyenletességének javítása: nagyobb sűrűségű, egyenletesebb eloszlású plazmát állíthat elő a plazmaforrás kialakításának optimalizálásával, például hatékonyabb RF tápegységek vagy magnetronporlasztás használatával.

Állítsa be a reakciógáz összetételét: A megfelelő mennyiségű segédgáz hozzáadása a reakciógázhoz javíthatja a plazma homogenitását és elősegítheti a maratási melléktermékek hatékony kiürülését.

A vákuumrendszer optimalizálása: A vákuumszivattyú szivattyúzási sebességének és hatékonyságának növelése segít csökkenteni a maratási melléktermékek tartózkodási idejét a kamrában, ami viszont csökkenti a terhelési hatást.

Ésszerű litográfiai elrendezés: A litográfiai elrendezés tervezésekor figyelembe kell venni a minta sűrűségét, és kerülni kell a lokális területek túl sűrű elrendezését a terhelés hatásának csökkentése érdekében.

 

Árokásás hatás

A mikrobarázdás hatás az oldalfal nem függőleges letörését jelenti, amely a maratási folyamat során a maratási felületet ferde szögben ütköző nagyenergiájú részecskék miatt, így az oldalfal közelében nagyobb a maratási sebesség, mint a középen. terület. Ez a jelenség szorosan összefügg a beeső részecske szögével és az oldalfal lejtésével.

Növelje a rádiófrekvenciás teljesítményt: Az RF teljesítmény megfelelő növelése növelheti a beeső részecskék energiáját, ezáltal függőlegesebben bombázzák a célfelületet, ezáltal csökkentve az oldalfal maratási sebességének különbségét.

Válassza ki a megfelelő maratási maszkanyagot: Egyes anyagok jobban ellenállnak a töltési hatásoknak, és csökkentik a mikro-árokásás hatását, amelyet súlyosbít a negatív töltés felhalmozódása a maszkban.

A maratási feltételek optimalizálása: A maratás szelektivitása és egyenletessége hatékonyan szabályozható a hőmérséklet, a nyomás és egyéb paraméterek finombeállításával a maratási folyamat során.

 

Töltő hatás

A töltőhatást a maratómaszk szigetelő tulajdonságai okozzák, amikor a plazmában lévő elektronok nem tudnak gyorsan kiszabadulni, felhalmozódnak a maszk felületén, lokális elektromos mezőt képezve, megzavarva a beeső részecskék útját, befolyásolva a maratás anizotrópiája, különösen kis szerkezetek maratásakor.

Válassza ki a megfelelő maratási maszkanyagot: Egyes speciálisan kezelt anyagok vagy vezetőképes maszkrétegek hatékonyan csökkenthetik az elektronok felhalmozódását. Végezzen szakaszos maratást: A maratási folyamat időszakos megszakításával és az elektronoknak elegendő időt adva a kilépéshez, a töltési hatás jelentősen csökkenthető.
A maratási környezet beállítása: A gáz összetételének, nyomásának és egyéb körülményeinek megváltoztatása a maratási környezetben javíthatja a plazma stabilitását és csökkentheti a töltés előfordulását.

.